Leckagerate ist mehr als nur ein Messwert

Die Leckagerate beschreibt die Gasmenge, die unter definierten Bedingungen pro Zeit durch ein Leck strömt und wird meist in mbar·l/s angegeben. Sie ist kein konstanter Wert: Druck, Temperatur, Gasart und Leckposition beeinflussen den tatsächlichen Leckagefluss. Die Norm EN ISO 20484 definiert sie entsprechend. Druckdifferenz treibt den Gasfluss an; ab verblockter Strömung steigt die Rate nicht weiter. Temperatur verändert Molekülgeschwindigkeit und Dichtungsverhalten, während bei niedrigem Druck das Molekulargewicht der Gase wichtig wird. Je nach Leckposition im Vakuumsystem kann die effektive Leckagerate variieren. Veränderte Betriebsbedingungen können Prozessstabilität, Produktqualität und Kammeratmosphäre beeinträchtigen. Ein Leck beansprucht die Auslegungsreserve des Vakuumsystems, ohne sofort zum Ausfall zu führen, verringert aber die Sicherheitsreserve bis ein Ausfall unvermeidbar wird.